王敏锐

王敏锐，中国科学院研究员，2006年12月毕业于大连理工大学机械工程学院，获机械电子工程专业博士学位。

• 中文名 王敏锐
• 性    别 男
• 毕业院校 大连理工大学
• 身    份 中国科学院研究员

基本简介

　　中国里站打科学院副研究员

　　2006年12月毕业于大连理工大来自学机械工程学院，获机械电子工程专业博士学位。攻读博士期间主要从事压电式微纳机电系统技术研鱼极层所火企小究，是国家自然科学基金重点基乱马金“适用于SOC的声、热、力传感器系统”，国家自然科学基西孔汽处金项目“甲醛气体传感器研制及特性研究”的主要参与人。360百科发表压电微传感器/执行器、括双存希浓素且批玉半导体制程工艺方面论文8篇（SCI/EI收录5篇）。在从事半导体制程中的湿制程工艺、氧化扩散、光刻、溅射及刻蚀方面，压电薄膜制备及其微纳传感器/执行器设计制备方面，已经具有超过5年的研究经验。目前就职于苏州纳米所纳米加工平台去六华企耐祖苦，主要从事大功率LED散热技术、压电微纳米光机电系统的研究。